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本申请涉及一种传送晶圆的方法和机械手臂。所述方法包括：将第一晶圆提供到机械手臂的手指部前端；伸展所述机械手臂到第一长度使所述机械手臂的所述手指部前端移动到第一处理腔室中的第一处理位置；将所述第一晶圆放置于所述第一处理位置；收缩所述机械手臂使...
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