温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及光刻机技术领域，公开一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机，其中管路柔性适应装置包括：包括连接簧片和隔振结构的柔性连接装置，连接簧片的一端通过隔振结构连接于气液分离装置上，连接簧片的另一端自由释放，连接簧片沿气液分离装置的高度方向布置...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。