下载一种半导体器件及其制备方法和存储器件的技术资料

文档序号:33999099

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本发明公开了一种半导体器件及其制备方法,提供形成有导电结构的半导体衬底,半导体衬底上;在导电结构的上方制备与导电结构连接的插塞;在形成了插塞的半导体衬底表面形成浸润层,浸润层为金属间化合物,金属间化合物含有金属线元素、抗电迁移的金属元素以及...
该专利属于真芯(北京)半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过真芯(北京)半导体有限责任公司授权不得商用。

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