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本申请公开了一种外延基座以及外延设备。所述外延基座包括基座主体,在所述基座主体的一端面上设置有用于承载外延基底的凹槽,所述凹槽外侧的所述基座主体包括相互交替设置的若干第一区域和若干第二区域,其中,所述第一区域设置有贯穿所述基座主体的多个孔洞...该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。
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