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一种控制PVD镀膜的方法，包括：将工件置于PVD镀膜设备中，镀膜设备包括靶材，在镀膜设备中通入惰性气体；以及在靶材上施加电能以产生辉光放电，激发惰性气体产生正离子，正离子轰击靶材以产生靶材原子，靶材原子沉积在工件表面形成镀膜；在工件上施加负...
该专利属于富联裕展科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富联裕展科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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