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本发明公开了一种3D曝光系统及方法。所述3D曝光系统包括：第一光学引擎，用于生成第一曝光图案并将所述第一曝光图案投影到所述3D基板(700)的第一面，所述第一光学引擎包括DMD器件(400)和无掩膜投影装置(600)，所述DMD器件(400...
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