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本发明提供一种过滤装置及抛光设备,包括腔体、过滤组件及支撑固定所述过滤组件的固定组件,所述固定组件包括承载平台和支撑柱,所述承载平台承载所述过滤组件,所述支撑柱连接所述承载平台和所述腔体的底部,且所述支撑柱的侧壁设置有贯穿所述支撑柱的通孔。...该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种过滤装置及抛光设备,包括腔体、过滤组件及支撑固定所述过滤组件的固定组件,所述固定组件包括承载平台和支撑柱,所述承载平台承载所述过滤组件,所述支撑柱连接所述承载平台和所述腔体的底部,且所述支撑柱的侧壁设置有贯穿所述支撑柱的通孔。...