下载高压半导体装置以及其制作方法的技术资料

文档序号:33995826

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本发明公开一种高压半导体装置以及其制作方法,其中该高压半导体装置包括半导体基底、隔离结构、栅极氧化物层与栅极结构。半导体基底包括通道区,隔离结构的至少一部分设置于半导体基底中且围绕通道区。栅极氧化物层设置于半导体基底上,且栅极氧化物层包括第...
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