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本发明提供了一晶片传输腔，通过支撑组件和取片组件的配合，使晶片和托盘实现分离，取片组件可以相对支撑组件上下运动以从晶片背面托起晶片致晶片与托盘分离，方便后续机器臂将分离后的晶片放入晶片盒，同时，避免了从正面边缘接触晶片造成的颗粒污染，利用系...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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