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本申请公开了一种阳极组件、电镀装置和阳极组件的制作方法。其中,阳极组件包括不溶性阳极网和绝缘阻挡件;不溶性阳极网包括正面,正面用于朝向待镀件;绝缘阻挡件的至少一部分设置于不溶性阳极网的正面。在上述设置中,利用绝缘阻挡件对不溶性阳极网的正面的...该专利属于矽磐微电子(重庆)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过矽磐微电子(重庆)有限公司授权不得商用。
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