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本发明实施例公开了一种半导体器件的外延结构及其制备方法、半导体器件,外延结构包括衬底以及位于衬底一侧的半导体层;半导体层至少包括层叠设置于衬底一侧的缓冲层和阻挡层;阻挡层的禁带宽度大于缓冲层的禁带宽度,至少缓冲层以及阻挡层中注入有离子,阻挡...该专利属于苏州能讯高能半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州能讯高能半导体有限公司授权不得商用。
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本发明实施例公开了一种半导体器件的外延结构及其制备方法、半导体器件,外延结构包括衬底以及位于衬底一侧的半导体层;半导体层至少包括层叠设置于衬底一侧的缓冲层和阻挡层;阻挡层的禁带宽度大于缓冲层的禁带宽度,至少缓冲层以及阻挡层中注入有离子,阻挡...