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本发明实施例公开了一种气动控制装置及系统、光刻设备，该气动控制装置的弹性膜片内嵌于分流块的膜片容纳腔中；且弹性膜片可在气路控制阀控制第一气体输入至控制气路时，弹性膜片的第二侧贴紧并堵住第二端口和第三端口，以阻挡输入气路与所述输出气路连通；在...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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