【技术实现步骤摘要】
气动控制装置及系统、光刻设备
[0001]本专利技术实施例涉及气动控制
，尤其涉及一种气动控制装置及系统、光刻设备。
技术介绍
[0002]随着大规模集成电路和超大规模集成电路的发展，集成电路的制备精度要求越来越高，这对半导体器件的制备设备的控制精度的要求越来越高。半导体器件的制备设备(例如光刻设备)中通常会设置有机械手、吸盘、温度稳定单元、硅片存储单元、片盒门开启装置等执行器，这些执行器通常采用气动控制，以实现真空吸附、正压释放和清洁等功能。
[0003]当前，光刻设备中的执行器，例如吸盘，在实现真空吸附功能时，需要通过相应的气体管路与抽真空设备连接，并由抽真空设备进行排气抽真空，以使相应的物品能够吸附至该吸盘上；而在其实现正压释放功能时，要通过相应的气体管路与提供正压气体的气体源，并由气体源提供正压气体，以使相应的物品从吸盘上释放出来；而在其实现清洁功能时，需要通过相应的气体管路与清洁气体的气体源连接。现有技术中，通常在气体管路中设置多个气控阀，该多个气控阀相互独立，并通过控制器或人为控制各气体管路中气控阀...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气动控制装置，其特征在于，包括：气路控制阀、至少一个弹性膜片和分流块；所述分流块包括至少一条气体通路和与至少一个所述弹性膜片一一对应设置的至少一个膜片容纳腔；所述气体通路包括控制气路、输入气路和输出气路；所述控制气路与所述膜片容纳腔的第一端口连通，所述输入气路与所述膜片容纳腔的第二端口连通，所述输出气路与所述膜片容纳腔的第三端口连通；各所述弹性膜片一一对应地设置于各所述膜片容纳腔内，且所述第一端口位于所述弹性膜片的第一侧，第二端口和第三端口位于所述弹性膜片背离所述第一端口的第二侧，且所述第一端口通过所述弹性膜片与所述第二端口和第三端口相互隔离；所述气路控制阀的控制端接收控制信号，所述气路控制阀的第一输入端接收第一气体，所述气路控制阀的第二输入端接收第二气体，所述气路控制阀的输出端与所述控制气路连通；所述气路控制阀用于根据所述控制信号控制第一气体或第二气体输入至所述控制气路；其中，在所述第一气体输入至所述控制气路时，所述弹性膜片的第二侧贴紧并堵住所述第二端口和所述第三端口，以阻挡所述输入气路与所述输出气路连通；在所述第二气体输入至所述控制气路时，所述弹性膜片向所述第一端口侧形变凸起，且所述弹性膜片的第二侧表面与所述第二端和所述第三端口分离，以使所述输入气路与所述输出气路连通。2.根据权利要求1所述的气动控制装置，其特征在于，所述弹性膜片包括形变区和固定区；所述固定区固定于所述分流块上；所述形变区在所述第一气体或所述第二气体的控制下发生形变。3.根据权利要求1所述的气动控制装置，其特征在于，包括两个所述弹性膜片；所述分流块包括分别用于设置两个所述弹性膜片的两个所述膜片容纳腔、以及分别与两个所述膜片容纳腔连通的两条气体通路；两条所述气体通路分别为第一气体通路和第二气体通路；所述气路控制阀的输出端包括第一输出端和第二输出端，所述第一输出端与所述第一气体通路的控制气路连通，所述第二输出端与所述第二气体通路的控制气路连通；所述气路控制阀具体用于：根据所述控制信号控制所述第一气体输入至所述第一气体通路的控制气路，控制所述第二气体输入至所述第二气体通路的控制气路；或者，根据所述控制信号控制所述第二气体输入至所述第一气体通路的控制气路，控制所述第一气体输入至所述第二气体通路的控制气路。4.根据权利要求3所述的气动控制装置，其特征在于，所述分流块还包括气体输出通路；所述第一气体通路的输出气路和所述第二气体通路的输出气路均与所述气体输出通路连通。5.根据权利要求3所述的气动控制装置，其特征在于，所述气路控制阀包括两位五通的双控电磁阀。6.根据权利要求1所述的气动控制装置，其特征在于，至少一个所述弹性膜片包括第一弹性膜片和第二弹性膜片；至少一个所述膜片容纳腔包括第一膜片容纳腔和第二膜片容纳腔；至少一条气体通路包括第一气体通路和第二气体通路；所述第一弹性膜片设置于所述第一膜片容纳腔，所述第二弹性膜片设置于所述第二膜片容纳腔；所述第一气体通路的控制气路、输入气路和输出气路分别与所述第一膜片容纳腔的第一端口、第二端口和第三端口...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐腾肖，黄风良，李博书，朱正平，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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