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微电子机械系统单元阵列的驱动技术方案
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文档序号:3399322
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一种包括微电子机械系统单元阵列MEMS的电子设备,所述阵列在其输出具有多个状态,其中各个MEMS单元具有第一状态和第二状态,和其中从第一状态向第二状态的转换受打开电压的影响,以及从第二状态向第一状态的转换受关闭电压的影响,和 阵列包括...
该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。
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