微电子机械系统单元阵列的驱动技术方案

一种包括微电子机械系统单元阵列ＭＥＭＳ的电子设备，所述阵列在其输出具有多个状态，其中各个ＭＥＭＳ单元具有第一状态和第二状态，和其中从第一状态向第二状态的转换受打开电压的影响，以及从第二状态向第一状态的转换受关闭电压的影响，和　　　　阵列包括用于被施加至所有ＭＥＭＳ单元的信号控制电压的输入，从而通过改变信号控制电压来获得阵列的各种状态。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种包括微电子机械系统(MEMS)单元阵列的电子设备，所述阵列在其输出具有多个状态。本专利技术还涉及一种微电子机械系统(MEMS)单元阵列的驱动，所述阵列在其输出具有多个状态。MEMS(micro-electro-mechanical-systems)技术被用于在无线应用中开发用于RF模块的可调无源元件。MEMS技术已经在类似传感器和投影显示的产品中被应用。在RF电路的应用降低功率消耗并提高无线通信系统的性能。尤其是，MEMS技术被应用在集成RF前端电路中。一个可行的RF-MEMS元件是一个具有弹性金属上部电极的可变电容器。通过施加DC电压，这个电极向下移动，导致电容量随电压增加，直至电容量突然下降。该发生处的电压被称为Vclose。电容器可被用作可调电容器(V＜Vclose)或可开关电容器(V＞Vclose)。后者也可被用作RF开关。MEMS元件可使用表面微加工和IC兼容薄模技术制造。为了构造可移动部分，牺牲层被使用，该牺牲层位于构造层下面、可选择地被去除，从而创造了一种独立式结构。MEMS技术可制造小的、重量轻的可调/可开关的RF元件，其使半导体开关和变容二极本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：T·G·S·M·里克斯，M·马特斯，J·T·M·范比克，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：