下载射频调节装置、等离子体处理设备及射频电场调节方法的技术资料

文档序号:33991936

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本发明提供了一种射频调节装置,等离子体处理设备及射频电场调节方法,包括位于等离子体处理设备的反应腔和内衬之间的挡板,和控制挡板移动的驱动组件,通过改变挡板的位置来调节等离子体处理设备内部射频回路的电容,进而调整射频电场的均匀性,有效弥补因在...
该专利属于中微半导体设备(上海)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中微半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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