下载硅棒切割设备及系统的技术资料

文档序号:33991609

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本申请实施例提供一种硅棒切割设备及系统,其中,硅棒切割设备包括:基座;承载台,设置于基座上,用于承载硅棒;线切割装置,设置于基座上,与承载台可沿硅棒的长度方向相对移动;线切割装置包括两个第一切割线轮组和至少三个第二切割线轮组,分别绕设于各第...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。

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