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本发明公开了一种物镜保护装置及其工作方法、光刻机。所述物镜保护装置内中间连接板与待保护物镜的镜头镜面相对设置，中间连接板包括出气口，出气口贯穿中间连接板露出镜头镜面的取光区；第一环形气腔包括第一进气孔和第一出气滤网，第一进气孔设置于第一环形...
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