下载一种金刚线切割硅锭用冷却液在线循环回收利用系统的技术资料

文档序号:33990325

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本实用新型所述的一种金刚线切割硅锭用冷却液的在线循环回收利用系统,包括废液池、废水混合罐、压滤机组、滤液罐、离子交换系统和存储罐,所述废液池用于收集车间机台加工完成后排放的废液A;所述废水混合罐内加入助滤剂混合,使收集的废液A适合压滤;所述...
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