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双一维微机电镜面元件制造技术
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下载双一维微机电镜面元件的技术资料
文档序号:33990046
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本发明提供一种双一维微机电镜面元件,其包含一基板、一第一一维微机电扫描芯片、一第二一维微机电扫描芯片及一上盖;该第一及第二一维微机电扫描芯片焊接于该基板上;该上盖固定在该基板一以盖合该第一及第二一维微机电扫描芯片于其中,又该上盖对应该第一及...
该专利属于千石科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过千石科技股份有限公司授权不得商用。
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