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一种等离子体反应器包括：反应腔，反应腔内底部设有导电基座，所述导电基座通过射频匹配网络连接到射频电源装置，所述导电基座上方用于放置待处理基片，反应腔内顶部包括一个上电极组件，所述导电基座和所述上电极组件之间为等离子体处理空间；一个第一导电接...
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