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本实用新型提供了一种研磨垫整理器及研磨装置，研磨垫整理器包括驱动臂、固定座、修整盘以及喷头；固定座固定于驱动臂的一端，驱动臂用于带动固定座运动，修整盘固定在固定座远离驱动臂的端面下方；固定座内部具有一容置空间，驱动臂沿其延伸方向具有一输送通...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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