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本发明属于半导体晶圆清洗技术领域，尤其是一种单片式半导体基材清洗机，包括清洗机体和晶圆体，清洗机体的一侧设置有支撑柱，支撑柱的内部设置有齿轮组机构和驱动电机，支撑柱的一端下表面转动连接有清洗轴，清洗轴的下表面固定连接有伸缩气缸，伸缩气缸的活...
该专利属于智程半导体设备科技（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过智程半导体设备科技（昆山）有限公司授权不得商用。

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