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本发明公开了一种大尺寸二碲化铂的化学气相沉积制备方法，方法在真空腔室内放入基片与金属铂靶材，通过石英晶振标定校准沉积速率，在室温条件下将金属铂沉积在基片上，之后在沉积炉中放入沉积铂的基片以及高纯度碲单质，将炉内抽至真空后通入载气，在一定的退...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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