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本发明公开了本发明提供一种低氧含量超细非晶碳化硅纳米颗粒的制备方法，包括以下步骤：形成两个大气压磁旋转电弧等离子体，分别为上游等离子体和下游等离子体；在上游等离子体引入含硅的有机前驱体，在下游等离子体引入气态烃，在等离子体引发下反应获得低氧...
该专利属于合肥碳艺科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥碳艺科技有限公司授权不得商用。

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