下载一种高温压力传感器封装结构的技术资料

文档序号:33963441

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本实用新型属于压力传感器封装技术领域,解决了现有高温压力传感器在封装时存在的结构强度低及悬空键合引线不稳定的问题。提供了一种高温压力传感器封装结构,包括压敏芯片、玻璃转接板、硅基底和玻璃封装罩,玻璃转接板和玻璃封装罩内部均贯穿设置有金属柱层...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。

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