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本发明涉及一种滑动弧放电等离子体装置及纳米粉体的制备方法。包括滑动弧等离子体发生器、预定比例的文丘里管及流化床；载气、前体气体及刻蚀气体调整比例后通入密闭的滑动弧等离子体反应器；开启电源、引风机或真空泵，调整等离子体区域反应压力，维持滑动弧...
该专利属于福州大学所有，仅供学习研究参考，未经过福州大学授权不得商用。

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