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本实用新型涉及一种保温体和坩埚双旋转的碳化硅生长装置，属于碳化硅生长技术领域；包括坩埚旋转机构与保温体旋转机构，所述坩埚旋转机构包括固定设置的上盖，上盖上固定设置有第一驱动电机，第一驱动电机通过皮带传动带动竖直的坩埚吊杆转动，坩埚吊杆的下端...
该专利属于山西烁科晶体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西烁科晶体有限公司授权不得商用。

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