下载一种压电双作动板驱动的宏微直线移动装置及运行方法的技术资料

文档序号:33958097

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本发明公开了一种压电双作动板驱动的宏微直线移动装置,包括振子组件、定位平台和支座组件,所述振子组件安装在所述支座组件上,所述支座组件设置于所述定位平台上;所述振子组件包括振子基体、压电陶瓷片一、压电陶瓷片二、驱动足一和驱动足二,所述振子基体...
该专利属于南昌航空大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌航空大学授权不得商用。

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