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一种具有阵列浮空岛结构的氮化镓肖特基二极管器件制造技术
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下载一种具有阵列浮空岛结构的氮化镓肖特基二极管器件的技术资料
文档序号:33958082
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本发明公开了一种具有阵列浮空岛结构的氮化镓肖特基二极管器件,包括衬底和依次设置于衬底上的GaN缓冲层、AlGaN势垒层、钝化层,所述钝化层的两侧分别设置有阳极金属和阴极金属,所述阳极金属和所述阴极金属之间的AlGaN势垒层上间隔设置有若干个...
该专利属于江苏晶曌半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏晶曌半导体有限公司授权不得商用。
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