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本实用新型为一种硅片甩干机，涉及甩干机技术领域。其技术方案为：一种硅片甩干机，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，至少一个喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。通过导向管将喷嘴喷出的热氮...
该专利属于山东联超电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东联超电子设备有限公司授权不得商用。

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