一种硅片甩干机制造技术

本实用新型专利技术为一种硅片甩干机，涉及甩干机技术领域。其技术方案为：一种硅片甩干机，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，至少一个喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。通过导向管将喷嘴喷出的热氮气吹向喷管底部，使喷管底部聚集的水分蒸发，随氮气一起排出甩干机，防止开盖后喷管底部的水珠低落至干燥的硅片上，造成二次污染，影响工作效率和产品合格率。产品合格率。产品合格率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片甩干机


[0001]本技术涉及甩干机
，尤其涉及一种硅片甩干机。

技术介绍

[0002]现有的硅片甩干机，基本具有喷淋和喷射热氮气吹干两个功能，该功能主要靠安装在箱盖上的垂直喷管实现，喷管的底端密封，喷管侧壁上设置有多个喷嘴，保证喷淋和喷射热氮气能够均匀覆盖硅片，甩干机的工作过程是先喷淋再喷射热氮气吹干，喷淋完毕后喷嘴残留的水珠会大量聚集在喷管底部，热氮气吹干时，机箱内转盘转动使桶内产生大量气流，桶内温度升高，水珠会蒸发减少一部分，但是最后仍有少量水珠在喷管底部聚集，开盖时喷管移动水珠会滴到转盘上的硅片上，造成硅片的二次污染，造成产品的不合格。

技术实现思路

[0003]针对上述喷嘴喷淋后残留的水分蒸发不彻底，聚集在喷管底部，开盖后水珠滴下造成二次污染的问题，本技术提供一种硅片甩干机。
[0004]为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：一种硅片甩干机，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。通过导向管将喷嘴喷出的热氮气吹向喷管底部，使喷管底部聚集的水分蒸发，防止开盖后喷管底部的水珠低落至干燥的硅片上，造成二次污染。
[0005]优选地，喷管为直筒状，喷管垂直箱盖布置，喷管的顶部通过管路连接水源储存装置和氮气储存装置，喷管的底部密封。通过喷管侧壁开设的喷嘴而不通过底部直接进行喷淋和喷射热氮气，能够使各个位置的硅片同步接受喷淋和干燥，清洗和干燥效果更加均匀。
[0006]优选地，导向管包括第一水平端口和第二水平端口，第一水平端口和第二水平端口之间通过弧形管连接，第一水平端口连接喷嘴，第二水平端口垂直朝向喷管底部。通过弧形管将喷嘴喷射的热氮气导向至喷管底部。
[0007]优选地，机箱内设置有工作台，工作台上安装有电机，电机传动连接转盘。电机带动转盘转动，通过离心力对转盘上的硅片进行甩干。
[0008]优选地，机箱安装在底座上，机箱与箱盖转动连接。底座可以对机箱起到支撑和缓冲保护的作用，箱盖通过转动实现开关功能。
[0009]优选地，箱盖与液压缸连接，液压缸的伸缩杆铰接箱盖，液压缸的缸体铰接铰支座，铰支座固定安装在底座上。通过液压缸带动箱盖开关，保证开关箱盖的安全性和稳定性。
[0010]本技术具有以下有益效果：通过导向管，将喷嘴中喷出的热氮气导向喷管的底部，喷嘴喷淋后残留的水分向下流动并被导向管中吹出的热氮气快速蒸发，无法聚集，避免了开盖后水珠滴落在干燥的硅片上导致的产品不合格，解决了甩干蒸发后水分残留导致的二次污染问题。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1是现有技术的结构示意图。
[0013]图2是本技术具体实施方式的结构示意图。
[0014]图3是图2中A处的放大示意图。
[0015]图中：1、箱盖，2、机箱，3、底座，4、铰支座，5、液压缸，6、转盘，7、工作台，8、喷管，9、喷嘴，10、导向管，1001、第一水平端口，1002、第二水平端口，1003、弧形管。
具体实施方式
[0016]为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0017]如图2
‑
3所示，一种硅片甩干机，包括底座3，底座3上设置机箱2，机箱2内通过螺纹紧固件连接有工作台7，工作台7上方设置电机，电机的输出轴连接减速器，并通过齿轮或皮带等部件传动连接转盘6，通过转动的离心力对放置在转盘6上的硅片进行甩干。机箱2顶部铰接箱盖1，箱盖1的铰接连接液压缸5的伸缩杆，液压缸5的缸体铰接铰支座4，铰支座4固定安装在底座3上。液压缸5伸缩可带动箱盖1进行开闭，提高箱盖1开关的稳定性和安全性。箱盖1的底面设置有喷管8，喷管8为中空的直筒状，喷管8的顶端连接管路，管路连接清洁的水源储存装置和氮气储存装置，管路通过阀门控制。喷管8的底部密封，喷管8的侧壁设置有两列喷嘴9，同一列的喷嘴9间隔布置，两列喷嘴9之间交错布置，每列均有三个喷嘴9。其中一列的最下方的喷嘴9连接一根导向管10，导向管10的一端与该喷嘴9连接，导向管10的另一端朝向喷管8底端。导向管10包括第一水平端口1001和第二水平端口1002，第一水平端口1001和第二水平端口1002之间通过弧形管1003连接，第一水平端口1001与喷嘴9连接，第二水平端口1002朝向喷管8底部。第二水平端口1002垂直朝向喷管8底部，能够使热氮气在喷射的途中将聚集在喷管8底部的水分蒸发，防止二次污染，导向管10内残留的少量水分也能在重力作用下及时通过第二水平端口1002排出并被蒸发。
[0018]本技术的工作原理：首先将硅片放置在转盘6上，液压缸5收缩带动箱盖1关闭，箱盖1底面设置的喷管8开始喷淋，水流从喷管8侧壁的喷嘴9中喷洒至硅片上进行清洗。喷淋结束后，工作台7上的电机带动转盘6转动，通过离心力初步将硅片上的水分甩出，然后喷嘴9中喷出热氮气进一步对硅片进行干燥，连接导向管10的喷嘴9喷出的热氮气朝向喷管8底部，将各个喷嘴9中残留聚集在此的水分带走，最终机箱2内的水分随氮气一起排出。液压缸5伸展将箱盖1顶起，此时喷管8上没有残留的水珠滴下，不会对硅片造成二次污染，提高了工作效率和产品合格率。
[0019]应当理解，在称某一元件或层在另一元件或层“上”，被“连接”或“耦合”至另一元件或层时，其可能直接在另一元件或层上，被直接连接或耦合至所述另一元件或层，也可能
存在中间元件或层。相反，在称某一元件被“直接在”另一元件或层“上”，“直接连接”或“直接耦合”至另一元件或层时，则不存在中间元件或层。所有附图中类似的数字指示类似元件。如这里所用的，术语“和/或”包括相关所列项的一个或多个的任何和所有组合。
[0020]这里可能会使用便于描述的空间相对性术语，例如“在
…
下”、“下方”、“下部”、“以上”、“上方”等来描述如图中所示的一个元件或特征与另一个元件或特征的关系。应当理解，空间相对性术语意在包括图中所示取向之外的使用或工作中的器件不同取向。例如，如果将图中的器件翻转过来，被描述为在其他元件或特征“下”或“下方”的元件将会朝向其他元件或特征的“上方”。于是，示范性术语“下方”可以包括上方和下方两种取向。可以使器件采取其他取向(旋转90度或其他取向)，这里所用的空间相对术语作相应解释。
[0021]本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片甩干机，其特征在于，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。2.如权利要求1所述硅片甩干机，其特征在于，喷管为直筒状，喷管垂直箱盖布置，喷管的顶部通过管路连接水源储存装置和氮气储存装置，喷管的底部密封。3.如权利要求1或2所述硅片甩干机，其特征在于，导向管包括第一水平端口和第二水平端口，第一水平端口和第二水平端...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴则春，
申请(专利权)人：山东联超电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：