一种硅片甩干机制造技术

本实用新型专利技术为一种硅片甩干机，涉及甩干机技术领域。其技术方案为：一种硅片甩干机，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，至少一个喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。通过导向管将喷嘴喷出的热氮气吹向喷管底部，使喷管底部聚集的水分蒸发，随氮气一起排出甩干机，防止开盖后喷管底部的水珠低落至干燥的硅片上，造成二次污染，影响工作效率和产品合格率。产品合格率。产品合格率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片甩干机


[0001]本技术涉及甩干机
，尤其涉及一种硅片甩干机。

技术介绍

[0002]现有的硅片甩干机，基本具有喷淋和喷射热氮气吹干两个功能，该功能主要靠安装在箱盖上的垂直喷管实现，喷管的底端密封，喷管侧壁上设置有多个喷嘴，保证喷淋和喷射热氮气能够均匀覆盖硅片，甩干机的工作过程是先喷淋再喷射热氮气吹干，喷淋完毕后喷嘴残留的水珠会大量聚集在喷管底部，热氮气吹干时，机箱内转盘转动使桶内产生大量气流，桶内温度升高，水珠会蒸发减少一部分，但是最后仍有少量水珠在喷管底部聚集，开盖时喷管移动水珠会滴到转盘上的硅片上，造成硅片的二次污染，造成产品的不合格。

技术实现思路

[0003]针对上述喷嘴喷淋后残留的水分蒸发不彻底，聚集在喷管底部，开盖后水珠滴下造成二次污染的问题，本技术提供一种硅片甩干机。
[0004]为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：一种硅片甩干机，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。通过导向管将喷嘴喷出的热氮气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片甩干机，其特征在于，包括机箱和箱盖，箱盖的底面连接有喷管，喷管的侧壁上设置有喷嘴，喷嘴连接导向管，导向管的一端与喷嘴连接，导向管另一端朝向喷管底部。2.如权利要求1所述硅片甩干机，其特征在于，喷管为直筒状，喷管垂直箱盖布置，喷管的顶部通过管路连接水源储存装置和氮气储存装置，喷管的底部密封。3.如权利要求1或2所述硅片甩干机，其特征在于，导向管包括第一水平端口和第二水平端口，第一水平端口和第二水平端...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴则春，
申请(专利权)人：山东联超电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：