温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种片盒和片盒定位装置，所述片盒包括：相对设置的两个晶圆支撑组件，每个所述晶圆支撑组件上具有纵向排布多个的晶圆安装板；其中，两个所述晶圆支撑组件上的所述晶圆安装板两两相对设置，每一组相对设置的所述晶圆安装板上用于放置一个晶圆...
该专利属于宁波润华全芯微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波润华全芯微电子设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。