一种片盒及片盒定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种片盒和片盒定位装置，所述片盒包括：相对设置的两个晶圆支撑组件，每个所述晶圆支撑组件上具有纵向排布多个的晶圆安装板；其中，两个所述晶圆支撑组件上的所述晶圆安装板两两相对设置，每一组相对设置的所述晶圆安装板上用于放置一个晶圆；所述晶圆安装板具有晶圆支撑面，所述晶圆支撑面倾斜设置。本实用新型专利技术解决了片盒与晶圆的接触面积较大，导致光刻胶粘连片盒的问题。导致光刻胶粘连片盒的问题。导致光刻胶粘连片盒的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种片盒及片盒定位装置


[0001]本技术涉及半导体行业晶片湿法处理领域，尤其涉及一种片盒及片盒定位装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片。在晶圆的制作过程中一般采用湿法处理工艺，需要进行清洗。清洗晶圆前，一般将多个晶圆放置在片盒中，再将整个片盒放入浸泡池中清洗，因此需要对片盒定位，以便于搬运片盒。
[0003]目前，片盒中设有多个水平朝向的槽，用于放置晶圆，晶圆与槽之间为面接触。而晶圆上附带有光刻胶，当晶圆与槽之间的接触面积较大时，光刻胶容易粘连片盒导致片盒污染片盒。

技术实现思路

[0004]因此，本技术实施例提供一种片盒及片盒定位装置，有效解决片盒与晶圆的接触面积较大，导致光刻胶粘连片盒的问题。
[0005]一方面，本技术提供一种片盒，包括：相对设置的两个晶圆支撑组件，每个所述晶圆支撑组件上具有纵向排布多个的晶圆安装板；其中，两个所述晶圆支撑组件上的所述晶圆安装板两两相对设置，每一组相对设置的所述晶圆安装板上用于放置一个晶圆；所述晶圆安装板具有晶圆支撑面，所述晶圆支撑面倾斜设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片盒，其特征在于，包括：相对设置的两个晶圆支撑组件，每个所述晶圆支撑组件上具有纵向排布多个的晶圆安装板；其中，两个所述晶圆支撑组件上的所述晶圆安装板两两相对设置，每一组相对设置的所述晶圆安装板上用于放置一个晶圆；所述晶圆安装板具有晶圆支撑面，所述晶圆支撑面倾斜设置。2.根据权利要求1所述的片盒，其特征在于，两个所述晶圆支撑组件之间为晶圆安装腔，所述晶圆支撑面靠近所述晶圆安装腔的一侧低于所述晶圆支撑面远离所述晶圆安装腔的一侧。3.根据权利要求1所述的片盒，其特征在于，相对设置的每一组所述晶圆支撑面，关于两个所述晶圆支撑组件的中间平面呈镜像设置。4.根据权利要求1
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3任一项所述的片盒，其特征在于，所述晶圆安装板的一侧设有缺口；相邻的所述晶圆安装板之间形成晶圆安装槽，所述晶圆安装槽对应所述缺口的一侧为安装入口。5.根据权利要求4所述的片盒，其特征在于，所述晶圆支撑组件还包括：限位挡板，抵接于所述晶圆安装板远离所述缺口的一侧，并覆盖所述晶圆安...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪钢，傅立超，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：