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本发明涉及传送板、用于制造传送板的方法和基板处理装置。公开了一种制造用于冷却基板的冷却板的方法，所述方法包括：通过使用管状管制造冷却剂管的操作；将所述冷却剂管插入到限定板的铸模中的操作；以及通过将熔融金属注入到所述铸模中来铸造所述冷却板的操...
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