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本实用新型公开了一种靶材的防变形结构，此结构为在靶材的周向侧壁中开设有盲孔；盲孔的数量不少于2个，且均匀分布；一种具有防变形结构的离子镀膜靶材，此离子镀膜靶材呈圆形，其径向外侧壁中开设有盲孔；盲孔的数量为4组，每组之间间隔90度分布；盲孔呈...
该专利属于扬州大学所有，仅供学习研究参考，未经过扬州大学授权不得商用。

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