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本实用新型提供了一种高纯金属真空升华除杂的装置,包括:加热炉;设置在所述加热炉内的石英管;设置在所述石英管内的石英舟;设置在所述石英管内的坩埚;真空泵,所述真空泵和石英管连通,用于对石英管进行抽真空处理。本实用新型提供的高纯金属真空升华去除...该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。
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