下载含氟废水回收的方法及系统的技术资料

文档序号:33921310

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本申请公开了一种含氟废水回收的方法及系统,涉及半导体加工技术领域,方法包括收集半导体设备加工过程中生成的含氟废水;对所述含氟废水进行化学沉淀处理,得到污水混合物;其中,所述污水混合物包括混合废水;在所述混合废水中加入磁粉进行絮凝,得到磁粉沉...
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