含氟废水回收的方法及系统技术方案

本申请公开了一种含氟废水回收的方法及系统，涉及半导体加工技术领域，方法包括收集半导体设备加工过程中生成的含氟废水；对所述含氟废水进行化学沉淀处理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合废水；在所述混合废水中加入磁粉进行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一滤水；将所述磁粉沉淀物进行磁粉分离，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；将所述第一污泥沉淀输送至污泥资源回收系统进行回收使用，并将所述第一滤水进行纯水过滤，得到第二滤水；将所述第二滤水输送至所述半导体设备进行循环使用。系统应用上述方法，本申请实施例能实现含氟废水的零排放以及提升循环使用率，相对于现有技术的采用化学药剂的方式，循环使用率更高。率更高。率更高。

【技术实现步骤摘要】
含氟废水回收的方法及系统


[0001]本申请涉及半导体加工
，特别是涉及一种含氟废水回收的方法及系统。

技术介绍

[0002]氟作为人体必需的的一种微量元素，对人体健康影响重大。人体对氟的摄入主要通过饮用水，《国家饮用水卫生标准》规定，饮水中的氟含量应小于等于1.0mg/L。因此，半导体行业的废水在排放前需要进行除氟处理，实现达标排放。而相关技术中，半导体行业多采用化学沉淀与絮凝沉淀相结合的方法除氟，处理后排放污水的含氟量可降至12～13毫克/升，能达到排放标准但是无法进行引用；同时，实际应用中存在含氟废水处理工艺和装置的差异，使得出水达不到排放标准。且随着“零排放”要求的提出，对于废水的排放标准逐渐增高。虽然可以通过增加化学药剂降低含氟量，但是随着污水量的增加扩大了对化学药剂的使用，且化学药剂的多次使用后很难控制化学药剂的二次污染，因此，含氟废水的处理效率低，循环使用率低。

技术实现思路

[0003]本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，提出一种含氟废水回收的方法及系统，能提升含氟废水的循环使用率。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含氟废水回收的方法，其特征在于，包括：收集半导体设备加工过程中生成的含氟废水；对所述含氟废水进行化学沉淀处理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合废水；在所述混合废水中加入磁粉进行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一滤水；将所述磁粉沉淀物进行磁粉分离，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；将所述第一污泥沉淀输送至污泥资源回收系统进行回收使用，并将所述第一滤水进行纯水过滤，得到第二滤水；将所述第二滤水输送至所述半导体设备进行循环使用。2.根据权利要求1所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，所述污水混合物还包括第二污泥沉淀；所述方法还包括：将所述第二污泥沉淀输送至污泥资源回收系统进行回收使用。3.根据权利要求1所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，所述将所述第一滤水进行纯水过滤，得到第二滤水，包括：将所述第一滤水分别进行微过滤以及反渗透过滤，得到第三滤水；将所述第三滤水进行超纯水过滤，得到所述第二滤水。4.根据权利要求2所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，在进行超纯水过滤之前，所述方法还包括：将一部分的所述第三滤水回流以用于稀释收集的所述含氟废水。5.根据权利要求3所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，在进行超纯水过滤之前，所述方法还包括：将除回流以外的所述第三滤水进行杀菌处理。6.根据权利要求1所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据预设的回流条件，将部分所述第二滤水回流以用于稀释收集的所述含氟废水。7.根据权利要求1所述的含氟废水回收的方法，其特征在于，所述在所述混合废水中加入磁粉进行絮凝，得到...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓海，孟兵华，刘小红，肖应东，
申请(专利权)人：东莞东元环境科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：