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一种高性能底栅底接触聚合物场效应晶体管的制备方法技术
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下载一种高性能底栅底接触聚合物场效应晶体管的制备方法的技术资料
文档序号:33921123
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本发明公开了一种高性能底栅底接触聚合物场效应晶体管的制备方法,所述的晶体管器件包括:衬底、绝缘层、半导体层和源漏电极,所述的制备方法首先以蒸镀的方式在绝缘层上方蒸镀形成源漏电极,继而通过旋涂的方式在其上方形成半导体层;当选用IDT
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该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。
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