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本发明提供了一种半导体CVD设备用锅形陶瓷件加工方法及系统，包括以下步骤：步骤S1：将粉料加工成坯料进行一次成型烧结；步骤S2：将烧结好的坯料放进治具中，并通过治具上的螺丝锁紧固定坯料；步骤S3：将坯料连同治具放在平面磨床上，采用砂轮精磨平...
该专利属于卡贝尼新材料科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡贝尼新材料科技(上海)有限公司授权不得商用。

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