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本发明公开了一种多腔室真空吸具装置，旨在提供了一种分段控制，节约资源同时对于形状尺寸特殊的物体仍可搬运的多腔室真空吸具装置。包括若干真空腔室，若干真空腔室拼接组合，若干真空腔室连接有使所有真空腔室连通的串联管，真空腔室包括安装壳和顶盖，顶盖...
该专利属于诺森（浙江）真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺森（浙江）真空科技有限公司授权不得商用。

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