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本实用新型公开一种MEMS高精度油封压力传感器，包括：底座、绝缘陶瓷、绝缘子、压力传感器芯片、波纹膜片、引线和压力信号采集处理元件。其中：所述绝缘陶瓷为环形结构，其固定在所述底座的腔室底面上。所述绝缘子固定于绝缘陶瓷中的底座底面上。所述压力...
该专利属于山东中科思尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东中科思尔科技有限公司授权不得商用。

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