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本发明的目的在于提供一种涂敷装置，所述涂敷装置能够准确地进行控制使得涂敷在基板的包括端面的基板周向边缘部的膜形成液的上下面的涂敷宽度极其窄，并且能够确实地在基板周向边缘部形成均匀厚度的薄的涂膜；涂敷装置10是一边使基板2和涂敷单元20相对移...
该专利属于株式会社埃纳科技所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社埃纳科技授权不得商用。

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