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石墨烯晶圆的生长方法及装置制造方法及图纸
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下载石墨烯晶圆的生长方法及装置的技术资料
文档序号:33904643
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本发明提供一种石墨烯晶圆的生长方法和载具。所述方法为在蓝宝石/金属基底上气相沉积生长石墨烯晶圆,所述金属基底上方与设置一片材,所述片材与所述金属基底所处平面平行,所述金属基底与所述片材之间的间距d满足如下关系:0.5mm≤d≤2mm,所述片...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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