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本实用新型公开了一种磁控溅射设备中波纹管排气装置，其包括气缸和固定在气缸顶部的底座，底座由底部的方形座体、中部的圆柱座体和顶部的圆盘座体一体连通构成，气缸的活动杆套设固定有导杆并穿设底座，导杆的顶部固定有圆台，圆盘座体的顶部设置有波纹管座，...
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