下载一种大型ITO平面靶烧结炉进气装置的技术资料

文档序号:33901226

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种大型ITO平面靶烧结炉进气装置,包括炉台主体,炉台主体包括上侧的刚玉承烧板、支柱架设结构和下侧的保温层,保温层底部连接设有气室,气室内部设有气室中间隔板,气室中间隔板将气室分隔为气室上层和气室下层,气室中间隔板四角处分别设有隔板气孔,气...
该专利属于河北惟新科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北惟新科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。