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一种大型ITO平面靶烧结炉进气装置制造方法及图纸
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下载一种大型ITO平面靶烧结炉进气装置的技术资料
文档序号:33901226
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一种大型ITO平面靶烧结炉进气装置,包括炉台主体,炉台主体包括上侧的刚玉承烧板、支柱架设结构和下侧的保温层,保温层底部连接设有气室,气室内部设有气室中间隔板,气室中间隔板将气室分隔为气室上层和气室下层,气室中间隔板四角处分别设有隔板气孔,气...
该专利属于河北惟新科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北惟新科技有限公司授权不得商用。
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