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微位移放大装置制造方法及图纸
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文档序号:3389678
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本实用新型公开了一种用于精密定位及微驱动领域的微位移放大装置,包括基座、设于基座上的压电陶瓷驱动器及通过压电陶瓷驱动器驱动的位移放大机构,其中,该位移放大机构由若干驱动杆通过柔性铰链串联及并联连接而成,且由该位移放大机构输出位移。该微位移放...
该专利属于华南农业大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南农业大学授权不得商用。
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