下载一种晶圆激光赋码系统的技术资料

文档序号:33896552

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本申请公开了一种晶圆激光赋码系统,包括机柜和激光光源,机柜内安装工控机,机柜上安装距离调节装置,激光光源安装在距离调节装置上;机柜上安装用于夹持待加工的晶圆的夹具;其对晶圆的赋码加工方式属于非接触加工,无机械应力,能有效的提升产品质量;可以...
该专利属于南光高科(厦门)激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南光高科(厦门)激光科技有限公司授权不得商用。

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