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本发明提供了一种SRP样品的制备方法、研磨装置及检测方法，涉及半导体制备技术领域，SRP样品的制备时首先选取多个相同类型的初始SRP样品；然后按照预设磨片规格确定需制备的SRP样品区域，并根据SRP样品区域确定初始SRP样品的拼接方案；再按...
该专利属于上海季丰电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海季丰电子股份有限公司授权不得商用。

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